一、工艺简介
该系统采用离子膜电解法,从失效的酸性蚀刻液中分离回收铜,同时通过射流吸收电解产生的氧化性气体提高蚀刻工序蚀刻液和再生液的ORP,从而达到使失效的酸性蚀刻液再生并循环使用。
二、工艺特点
1、实现酸性蚀刻液的闭路循环,降低企业生产成本,极大减少污染物的排放,实现清洁生产。
2、充分利用化学原理,将工艺产生物质循环使用,实现生产线酸性蚀刻液的再生,保证生产线高质量的运行。
3、选用高效能的离子膜,膜通量大,电阻小,成本低。
4、工艺处理量大、稳定性好、自动化程度高、安全方便,再生蚀刻液蚀刻速度和产品质量好。
三、参数
1、系统性能及参数
设备型号
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蚀刻废液处理量(吨/月)
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电力负荷
(KW)
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产铜能力
(吨/月)
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安装场地
(m2)
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JC-SS-3000
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30-100
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40-90
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12
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55-70
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JC-SS-5000
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100-200
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100-170
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24
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80-120
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JC-SS-8000
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200-300
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180-250
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36
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120-160
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2、再生液使用特点
蚀刻速度
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2.5-5.0mil/min
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可适用的抗蚀层
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金、酸性油墨
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蚀铜量
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最高180g/L
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侧蚀因子
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≥2.8
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其它性能
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速度快、稳定性好
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